高純氬在半導體工業(yè)中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。充液氬前要用少量液氬預冷。貯存，停產期間，由于自然揮發(fā)的氮氣留在槽內，內筒壓力會逐漸升高，當內筒壓力達到0.8Mpa時，應適當打開放空閥泄壓。液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。
液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。液氬在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。液氬 無色、無味、無臭、無毒的惰性氣體，化學性質極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3 (21.1℃，101. 3kPa)，液體密度1394.Okg．m-3(一185.9℃，101. 3kPa)。
高純液氬極易揮發(fā)，在使用的過程中要保持密封的，將其放置在通風條件良好的地方，防止其泄露后產生的氣體散發(fā)到工作環(huán)境中。液氬操作處置注意事項：密閉操作，加強通風，設有事故強制通風設備，操作人員必須經(jīng)過專門培訓。持證上崗，操作時嚴格遵守操作規(guī)程。充裝時要控制充裝速度。充裝時間不少于30min。液氬泄漏嚴防傷。液氬用于特殊場所的滅火氣體；重要的玻璃專柜中的填充保護氣體；使用特定的方法可以使氬氣離子化并且發(fā)光，用于等離子燈和粒子物理學中的能量器；
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